荷蘭ASML公司是目前全球唯一EUV光刻機(jī)供應(yīng)商，7nm制程工藝的芯片都要使用ASML的設(shè)備，現(xiàn)在他們又帶來了一項(xiàng)全新的設(shè)備，適用于5nm及更先進(jìn)
荷蘭ASML公司是目前全球唯一EUV光刻機(jī)供應(yīng)商，7nm制程工藝的芯片都要使用ASML的設(shè)備，現(xiàn)在他們又帶來了一項(xiàng)全新的設(shè)備，適用于5nm及更先進(jìn)的工藝，提升生產(chǎn)效率。
相比單個(gè)電子束檢查工具，eScan1000擁有九個(gè)光束，可讓產(chǎn)能提升600%。
日前，ASML宣布，已完成第一代HMI多光束檢測機(jī)HMI eScan1000的系統(tǒng)集成和測試，可用于5nm及更先進(jìn)的工藝，
包括一個(gè)電子光學(xué)系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠創(chuàng)建和控制多個(gè)一次電子小束，然后收集和處理所產(chǎn)生的二次電子束，將電子束與電子束的串?dāng)_限制在2％以下，并提供一致的成像質(zhì)量。
據(jù)悉，eScan1000是基于HMI多光束技術(shù)的檢測系統(tǒng)，
同時(shí)它還具有一個(gè)高速平臺(tái)以提高系統(tǒng)的整體吞吐量，以及一個(gè)高速計(jì)算架構(gòu)來實(shí)時(shí)處理來自多個(gè)電子束的數(shù)據(jù)流。從而實(shí)現(xiàn)物理缺陷檢查和電壓對(duì)比檢查，減少晶圓質(zhì)量分析所用的時(shí)間。
eScan1000擁有專門的芯片，用以檢測數(shù)據(jù)庫缺陷檢測功能，使得芯片制造商能夠使用晶圓打印檢查來監(jiān)視EUV的缺陷，
此外，這一點(diǎn)在單束解決方案上需要大量時(shí)間，而多個(gè)電子束很快就能完成。
目前第一個(gè)eScan1000已于本周交付客戶進(jìn)行測試驗(yàn)證，未來還會(huì)推出大量多光束測試設(shè)備滿足客戶對(duì)先進(jìn)工藝的需求。
關(guān)鍵詞： 全新半導(dǎo)體技術(shù)
