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ASML去年交付26臺極紫外光刻機 有一半屬于臺積電

2020-04-09 16:50:53 來源: TechWeb

臺積電2019年正式啟動7nm產(chǎn)品的量產(chǎn),這只能通過波長極短的EUV進行操作。資料顯示,EUV光源波長比目前深紫外線微影的光源波長短少約15 倍,因此能達到持續(xù)將線寬尺寸縮小的目的。

4月9日消息,據(jù)國外媒體報道,半導(dǎo)體行業(yè)光刻系統(tǒng)供應(yīng)商ASML(阿斯麥)去年交付了26臺極紫外光刻機(EUV),調(diào)查公司Omdia表示,其中約一半面向大客戶臺積電。

ASML此前公布,2019年,共向客戶交付了26臺極紫外光刻機。其中,在第四季度交付了8臺。

ASML還透露,去年交付的26臺極紫外光刻機中,有9臺是最新型號,即NXE:3400C。

英國調(diào)查公司Omdia推測稱,ASML去年交付的26臺極紫外光刻機,大約一半面向臺積電。

臺積電2019年正式啟動7nm產(chǎn)品的量產(chǎn),這只能通過波長極短的EUV進行操作。資料顯示,EUV光源波長比目前深紫外線微影的光源波長短少約15 倍,因此能達到持續(xù)將線寬尺寸縮小的目的。

在晶圓代工領(lǐng)域,臺積電掌握了全球約一半份額。

另外,三星電子、英特爾等也采購了ASML的極紫外光刻機設(shè)備。

ASML服務(wù)的客戶為全球主要的半導(dǎo)體制造商,打造在電力電子、通信和信息技術(shù)產(chǎn)品中廣泛應(yīng)用的芯片。

ASML公司總部位于荷蘭的Veldhoven市。生產(chǎn)基地和研發(fā)設(shè)施則位于康涅狄格州、加州、中國臺灣和荷蘭??萍及l(fā)展中心及訓(xùn)練設(shè)施位于日本、韓國、荷蘭、中國臺灣和美國。

ASML在阿姆斯特丹泛歐證券交易所和納斯達克上市。周三收盤,ASML(NASDAQ:ASML)股價上漲2.2%至278.58美元,總市值約1169.51億美元。

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